对马超来说,幸运的是曹操有刘备和孙权这两大后患,不敢深入远在西北的凉州追击他,使马超得到了喘息之机。马超家历代都住在凉州熟知地理民情,又有羌胡少数民族的支持,再加上马超本人英勇善战,很快就重新积聚部众卷土重来。在陇上一带攻城略地,兵势很盛。许多郡县都响应马超,不战而降,只在冀城遭到抵抗。不过,由于曹操的救兵迟迟不到,马超最终还是拿下冀城。马超入城后杀了曹操任命的凉州刺史和太守,自称征时将军,兼并州牧,督凉州军事。冀城失陷之初,夏侯渊率领的救兵才姗姗来迟。马超迎击,夏侯渊败阵而回,眼见马超的事业刚有起色,但此时又偏偏遇到了几个曹氏的忠将、一个是参凉州军事杨阜,此人开始就不支持冀城投降,只足不得已才随众投降。他找了个借口告假,到天水去见和他同样巳投降超的表兄姜叙,两人见面后,一拍即合,共同定计反马。又约赵昂等人合谋,还联系了冀城内的梁宽、赵衢作内应。
213年九月,杨埠与姜叙等人起事,这时身在马超军中的人力劝马超出城应敌。待马超出城之后,赵衢与梁宽等人一起在城中反叛,关上城门。马超一下变得无家可归,只好逃跑,正巧跑到了姜叙之母所在地,马超自然是杀之而后快,又杀掉了赵昂的儿子。虽然解了一时之气,但这一回,马超也输光本钱,在西凉无处容身,只得投奔汉中张鲁。由于变生突然,他连自己的家眷都没能带出来,全被叛军尽数杀死。
马超降张鲁之后,张鲁为了笼络他,曾想把自己的女儿嫁给他。却有人对张鲁说:有这么一种人,连家人都不能爱,又怎么能指望他去爱别人呢张鲁遂绝嫁女之念。马超身遭惨败之后,本已十分沮丧。寄人篱下,又被人另眼相看,自然就更加郁郁不得志。到了214年,马超在张鲁帐下呆得久了,发现张鲁其实并没有多大志向,因此颇为失望。这时张鲁手下的一些人又惮于马超英勇,怕马超突然反张,在张鲁面前使劲说马超的坏话。这两者加在一起,使马超有了弃张之心口正在此时,刘备派人来招降马超,马超于是偷偷南下,并写密书向刘备请降,刘备派兵暗助马超。于是,马超来到成都城下,帮助刘备攻打成都,这时刘备已与刘璋开战已久,围成都城也已有数十日。成都人一听说马超来了,震惊不已,不久刘璋就出城投降了。刘备对马超这样一位地位高、名声大的虎将十分看重,刚入成都,就封他为平西将军、都亭侯,进位汉中时,封他为左将军。地位在武将中仅次于关张二人。到了刘备称帝时,又封他为骠骑大将军领凉州牧。